隨著計算機科學的發(fā)展，從20世紀70年代開始，國際上許多研究工作者用計算機模擬方法研究薄膜的形成過程。利用計算機模擬薄膜形成過程時大體可以采用兩種方法:蒙特卡羅方法和分子動力學方法。
    蒙特卡羅(Monte Carlo)方法又稱隨機模擬法或統計試驗法。用這種方法處理問題時，首先要建立隨機模型，然后產生一系列隨機數用以模擬這個過程，*再作統計性處理。在模擬薄膜形成過程時，將氣相原子人射到基體上、吸附、解吸，吸附原子的凝結、表面擴散、成核、形成聚集體和形成小島等都看為獨立過程并作隨機現象處理。
    分子動力學(molecular dynamics)方法是一種較老的方法。在這種方法中對系統的典型樣本的演化都是以時間和距離的微觀尺度進行的。